ИК-Фурье спектрометр SiBrickScan

SiBrickScan (SBS) — это специализированная система, работающая в режиме реального времени, для количественного определения содержания кислорода в цельных слитках кремния, результатом которого является профилирование концентрации вдоль продольной оси слитка. Получение этой информации без распиливания пластин или тестовых образцов является экономически целесообразным. Количественное определение содержания междоузельного кислорода методом ИК-Фурье спектроскопии (ASTM/SEMI 1188) является хорошо известным и важным методом анализа, но оно ограничено образцами Si толщиной порядка нескольких миллиметров. SiBrickScan (SBS) преодолевает это ограничение и является первой коммерчески доступной, специализированной системой для определения градиента кислорода в слитках вдоль всей их главной оси без необходимости трудоемкой подготовки тонких образцов. SBS основан на анализе соответствующей полосы поглощения инфракрасного излучения при помощи надежной и современной технологии Bruker FTIR.

Основные преимущества:

• высокая чувствительность;
• система охлаждения до крио-температур замкнутого типа, не требующая использования жидкого азота;
• специализированные версии SBS для разных типов слитков;
• количественное определение кислорода без подготовки тонких образцов;
• надежная промышленная конструкция;
• инновационная оптическая скамья высокой чувствительности с эталонным образцом;
• варианты выбора детектора в соответствии с требованиями заказчика;
• интуитивно понятный и простой в использовании программный интерфейс.

Технические характеристики