ИК-Фурье спектрометр CryoSAS

Анализатор кремния CryoSAS — это специализированная система для низкотемпературного (< 15 K) определения примесей в кремнии на низком уровне, оптимизированная для осуществления анализа в промышленных условиях. CryoSAS сочетает в себе высококачественный ИК-Фурье спектрометр со встроенным криостатом замкнутого цикла, не требующим использования жидкого гелия. Укомплектованный самым современным оборудованием, CryoSAS использует хорошо проверенную методику выполнения сложных анализов в соответствии с требованиями кремниевой промышленности. CryoSAS может использоваться в автоматическом режиме, предоставляющем подробные отчеты о результатах измерений. CryoSAS анализирует мелкие примеси (бор, фосфор и др.) до уровня ppta, согласно стандарту ASTM/SEMI MF1630. Также возможен одновременный анализ углерода и кислорода до уровня ppba согласно стандарту ASTM/SEMI MF1391.

Основные преимущества:

• высокая чувствительность;
• система охлаждения до криотемператур замкнутого типа, не требующая жидкий гелий (лучше: применения жидкого гелия);
• большой отсек образца из нержавеющей стали для смены образцов;
• система вакуумирования с безмаслянным форвакуумным и турбомолекулярным насосами;
• надежный высокоточный автоподатчик образцов на 9 позиций;
• чувствительность по бору — 30 ppta;
• чувствительность по фосфору — 10 ppta;
• чувствительность по углероду — 20 ppba.

Технические характеристики